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アイテム / Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上 / JsMecEngC_66-647-2409
JsMecEngC_66-647-2409
ファイル | ライセンス |
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JsMecEngC_66-647-2409.pdf (826.8 kB) sha256 e8d9c3854f7151f2228a25214cfb46a2df9f11309a7a59ef1ff6c94eb4bf0cd8 |
公開日 | 2007-11-26 | |||||
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ファイル名 | JsMecEngC_66-647-2409.pdf | |||||
本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/7354/files/JsMecEngC_66-647-2409.pdf | |||||
ラベル | JsMecEngC_66-647-2409.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 826.8 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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