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アイテム / Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上 / JsMecEngC_66-647-2409
JsMecEngC_66-647-2409
| ファイル | ライセンス |
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 JsMecEngC_66-647-2409.pdf (826.8 kB)
sha256
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| 公開日 | 2018-02-19 | |||||
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| ファイル名 | JsMecEngC_66-647-2409.pdf | |||||
| 本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/7354/files/JsMecEngC_66-647-2409.pdf | |||||
| ラベル | JsMecEngC_66-647-2409.pdf | |||||
| オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 826.8 kB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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