@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00007956,
 author = {尹, 龍燮 and Yun, yongsup},
 month = {Dec},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学)(課程) 学位授与年月日:平成19年12月28日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {Formation of functional SiO:CH thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition},
 year = {2007}
}