@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00009071,
 author = {井上, 泰志 and Inoue, Yasushi},
 month = {Feb},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学)(論文) 学位授与年月日:平成12年2月29日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {二酸化シリコン薄膜の低温プラズマCVDにおける分光学的プロセス診断に関する研究},
 year = {2000}
}