@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00009391, author = {高田, 昇治}, month = {Oct}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成17年10月31日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {プラズマ対向表面における物理化学過程の基礎研究}, year = {2005} }