@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00009723,
 author = {内海, 裕一},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成9年3月12日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {放射光励起半導体素子作製プロセスに関する研究},
 year = {1997}
}