WEKO3
アイテム / Fluorination mechanisms of Al2O3 and Y2O3 surfaces irradiated by high-density CF4/O2 and SF6/O2 plasmas / JVA000831
JVA000831
ファイル | ライセンス |
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公開日 | 2010-01-20 | |||||
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ファイル名 | JVA000831.pdf | |||||
本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/10782/files/JVA000831.pdf | |||||
ラベル | JVA000831.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 438.0 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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