自動予備電離方式を用いた小型繰返しHe/Ar/XeClエキシマレーザの試作研究

後藤, 俊夫; 山部, 長兵衛; 後藤, 達美; 佐藤, 三郎

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自動予備電離方式を用いた小型繰返しHe/Ar/XeClエキシマレーザの試作研究

http://hdl.handle.net/2237/12701

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	kaken_59850063.pdf (1.2 MB)

Item type

研究報告書 / Research Paper(1)

公開日

2010-02-17

タイトル

自動予備電離方式を用いた小型繰返しHe/Ar/XeClエキシマレーザの試作研究

言語

著者

抄録

内容記述

本研究の目的は、小型で安定な自動予備電型混合希釈XeClエキシマレーザを試作することである。59年度は2気圧以下で動作するAr/He希釈XeClレーザの出力特性を詳しく調べ、最適ガス圧条件を求めた。60年度は更にNe/Ar希釈XeClレーザ及び装置の最適化に関する研究を行い、次の成果を得た。 1. Ne/Ar希釈ガスを用いたXeCl308nmレーザの出力特性を詳しく調べ、それが2気圧以下の領域で、Ar/He,Ne,Ar希釈ガスを用いた場合より大きなレーザ出力エネルギーを与えることを見い出し、レ-ザ出力が最大となる最適ガス圧条件(全ガス圧1.7気圧、混合比Ne:Ar:【Xe^2】HCl=65.8%:30.0%:4.0%:0.2%)を求めた。 2. 59年度及び1.の研究の結果、Ar/He/XeClレーザ及びNe/Ar/XeClレーザは、2気圧以下の低圧力領域で比較的大きなレーザ出力エネルギーと長い寿命が得られること、従って小型で簡便なレーザ装置として有望であることが明らかになった。 3. スパークギャップとレーザヘッドを一体化した小型で低インダクタンスの自動予備電離型放電励起XeClレーザ装置を考案し、最適ガス圧条件下で、レーザ出力エネルギー及び効率の回路パラメータ依存性や、予備電離ギャップ構造への依存性を調べ、それらの最適条件を決定した。またその最適条件下において、本レ-ザ装置は比較的長寿命の優れた動作特性を示すことを明らかにした。 4. 以上の結果をもとにして、最適化した改良型の小型で安定な自動予備電離型混合希釈XeClレーザ装置を設計・試作した。このレ-ザは色素レーザの励起用光源として今後使用していく予定である。

内容記述タイプ

Abstract

内容記述

科学研究費補助金研究種目：試験研究　課題番号：59850063　研究代表者：後藤俊夫　研究期間：1984-1985年度

内容記述タイプ

Other

言語

jpn

資源タイプ

資源

http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws

タイプ

research report

書誌情報

発行日 1986-03

フォーマット

application/pdf

著者版フラグ

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シリーズ

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Ver.1

2021-03-01 19:17:45.326339

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自動予備電離方式を用いた小型繰返しHe/Ar/XeClエキシマレーザの試作研究

× 後藤, 俊夫

× 山部, 長兵衛

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