WEKO3
アイテム
Studies on Fabrication of Silicon Thin Films Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Behaviors of Radicals
http://hdl.handle.net/2237/17984
http://hdl.handle.net/2237/1798447342505-8031-4904-a9b7-b5df1b2e7ae8
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
k10160.pdf (2.3 MB)
|
|
Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2013-05-15 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | Studies on Fabrication of Silicon Thin Films Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Behaviors of Radicals | |||||
言語 | en | |||||
著者 |
ABE, Yusuke
× ABE, Yusuke× 阿部, 祐介 |
|||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 名古屋大学博士学位論文 学位の種類 : 博士(工学)(課程) 学位授与年月日:平成25年3月25日 | |||||
言語 | ja | |||||
言語 | ||||||
言語 | eng | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||
書誌情報 |
発行日 2013-03-25 |
|||||
学位名 | ||||||
言語 | ja | |||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 13959 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
学位授与年度 | ||||||
値 | 2012 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2013-03-25 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第10160号 | |||||
著者版フラグ | ||||||
値 | publisher | |||||
URI | ||||||
識別子 | http://hdl.handle.net/2237/17984 | |||||
識別子タイプ | HDL |