WEKO3
アイテム / Studies on control of active species and design of gas molecules for etching of dielectric films in fluorocarbon and related-gas plasmas / k11041_review
k11041_review
| ファイル | ライセンス |
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 k11041_review.pdf (120.0 kB)
sha256
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| 公開日 | 2015-06-11 | |||||
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| ファイル名 | k11041_review.pdf | |||||
| 本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/19877/files/k11041_review.pdf | |||||
| ラベル | k11041_review.pdf | |||||
| オブジェクトタイプ | other | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 120.0 kB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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