WEKO3
アイテム / Spatial profiles of interelectrode electron density in direct current superposed dual-frequency capacitively coupled plasmas / paper_ohya_acceptedmanuscript
paper_ohya_acceptedmanuscript
| ファイル | ライセンス |
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 paper_ohya_acceptedmanuscript.pdf (806.7 kB)
sha256
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| 公開日 | 2017-06-07 | |||||
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| ファイル名 | paper_ohya_acceptedmanuscript.pdf | |||||
| 本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/24373/files/paper_ohya_acceptedmanuscript.pdf | |||||
| ラベル | paper_ohya_acceptedmanuscript.pdf ファイル公開：2018/04/01 | |||||
| オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 806.7 kB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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