WEKO3
アイテム
Measurement of nanometer-thick lubricating films using ellipsometric microscopy
http://hdl.handle.net/2237/00028423
http://hdl.handle.net/2237/000284237bdc6329-a67a-42fe-9934-60c2b18f9579
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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TI_manuscript_Fukuzawa_Rev1_2 (653.4 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2018-08-06 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Measurement of nanometer-thick lubricating films using ellipsometric microscopy | |||||
| 言語 | en | |||||
| 著者 |
Fukuzawa, Kenji
× Fukuzawa, Kenji× Sasao, Yusuke× Namba, Katsuya× Yamashita, Chihiro× Itoh, Shintaro× Zhang, Hedong |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 権利 | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 権利情報 | © 2018. This manuscript version is made available under the CC-BY-NC-ND 4.0 license http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Lubricant film | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Film thickness measurement | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Nanometer gap | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Nanotribology | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Ellipsometry | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | A method based on vertical-objective-based ellipsometric microscopy (VEM) is presented for measuring lubricant film thickness in nanometer sliding gaps. It provides an image of nanometer-thick lubricating films in real time at high lateral and thickness resolutions without any special layers. The ellipsometric image is directly converted into the film image by using a piezo-stage displacement method combined with a rotating compensator ellipsometry method. The accuracy of thickness measurement is about 1 nm. The VEM-based method revealed that nanometric deformation of the sliding surfaces arises in nanometric gaps even if the load is low, which significantly affects the lubrication properties in small gaps. This method is useful for clarifying the lubrication phenomena in nanometric sliding gaps. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | ファイル公開：2020-06-01 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.triboint.2018.02.016 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0301-679X | |||||
| 書誌情報 |
en : Tribology International 巻 122, p. 8-14, 発行日 2018-06 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | author | |||||
