WEKO3
アイテム
Analysis of vapor phase reaction by high-resolution mass spectrometry for Group III-Nitrides epitaxial growth
http://hdl.handle.net/2237/00031866
http://hdl.handle.net/2237/000318661c1f435f-a9f1-40f7-9d6f-560688ce59d6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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k13117_abstract (292.5 kB)
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k13117_review (146.1 kB)
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k13117_thesis (3.5 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-04-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Analysis of vapor phase reaction by high-resolution mass spectrometry for Group III-Nitrides epitaxial growth | |||||
| 言語 | en | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | 高分解能質量分析によるⅢ族窒化物半導体気相成長の解析 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 著者 |
YE, Zheng
× YE, Zheng× 叶, 正 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| 書誌情報 |
発行日 2020-03-25 |
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| 学位名 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 13901 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 値 | 2019 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2020-03-25 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第13117号 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | ETD | |||||
