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  1. B200 工学部/工学研究科
  2. B200a 雑誌掲載論文
  3. 学術雑誌

Kinetics of hydrogen atoms in high-density CF_4 /H_2 plasmas studied by (2+1)-photon laser-induced fluorescence spectroscopy

http://hdl.handle.net/2237/6999
http://hdl.handle.net/2237/6999
35e27906-b115-4231-b4e1-4431ee0f44a5
名前 / ファイル ライセンス アクション
ApplPhysLett_83_1935.pdf ApplPhysLett_83_1935.pdf (99.5 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2006-10-20
タイトル
タイトル Kinetics of hydrogen atoms in high-density CF_4 /H_2 plasmas studied by (2+1)-photon laser-induced fluorescence spectroscopy
言語 en
著者 Sasaki, K.

× Sasaki, K.

WEKO 13777

en Sasaki, K.

Search repository
Okamoto, M.

× Okamoto, M.

WEKO 13778

en Okamoto, M.

Search repository
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
権利
言語 en
権利情報 Copyright (2003) American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 We measured the distribution of absolute H atom density in high-density, low-pressure CF_4 plasmas with the addition of H2 by (2+1)-photon laser-induced fluorescence spectroscopy. The H atom density had hollow-shaped distributions, i.e., the H atom density adjacent to the chamber wall was higher than that in the plasma column. In addition, when the chamber wall was covered with hydrogenated fluorocarbon film, we detected H atoms without the addition of feedstock H_2 . These experimental results indicate surface production of H atoms from hydrogenated fluorocarbon film. The surface production rate was sensitive to the property of fluorocarbon film. When the property of fluorocarbon film was unified, the surface production rate increased linearly with the pressure of feedstock H_2 , suggesting a recycling process of H atoms between gas phase and fluorocarbon film as a mechanism of plasma–surface interaction in CF_4 /H_2 plasmas.
言語 en
出版者
出版者 American Institute of Physics
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプresource http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ journal article
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
DOI
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1063/1.1609244
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 0003-6951
書誌情報 en : Applied Physics Letters

巻 83, 号 10, p. 1935-1937, 発行日 2003-09-08
フォーマット
値 application/pdf
著者版フラグ
値 publisher
URI
識別子 http://hdl.handle.net/2237/6999
識別子タイプ HDL
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Ver.1 2021-03-01 13:12:40.263808
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