ログイン
言語:

WEKO3

  • トップ
  • ランキング
To
lat lon distance
To

Field does not validate



インデックスリンク

インデックスツリー

メールアドレスを入力してください。

WEKO

One fine body…

WEKO

One fine body…

アイテム

  1. B200 工学部/工学研究科
  2. B200a 雑誌掲載論文
  3. 学術雑誌

Consideration of Deformation of TiN Thin Films with Preferred Orientation Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition

http://hdl.handle.net/2237/9037
http://hdl.handle.net/2237/9037
0622d0d4-8055-484a-a50f-f9fdc1d03e30
名前 / ファイル ライセンス アクション
JSME_A_44-1-94.pdf JSME_A_44-1-94.pdf (701.8 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2007-11-26
タイトル
タイトル Consideration of Deformation of TiN Thin Films with Preferred Orientation Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition
言語 en
著者 HAYASHI, Toshiyuki

× HAYASHI, Toshiyuki

WEKO 20400

en HAYASHI, Toshiyuki

Search repository
MATSUMURO, Akihito

× MATSUMURO, Akihito

WEKO 20401

en MATSUMURO, Akihito

Search repository
WATANABE, Tomohiko

× WATANABE, Tomohiko

WEKO 20402

en WATANABE, Tomohiko

Search repository
MORI, Toshihiko

× MORI, Toshihiko

WEKO 20403

en MORI, Toshihiko

Search repository
TAKAHASHI, Yutaka

× TAKAHASHI, Yutaka

WEKO 20404

en TAKAHASHI, Yutaka

Search repository
YAMAGUCHI, Katsumi

× YAMAGUCHI, Katsumi

WEKO 20405

en YAMAGUCHI, Katsumi

Search repository
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
権利
言語 ja
権利情報 日本機械学会
権利
言語 ja
権利情報 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである。
キーワード
主題Scheme Other
主題 Plasticity
キーワード
主題Scheme Other
主題 Anisotropy
キーワード
主題Scheme Other
主題 Hardness
キーワード
主題Scheme Other
主題 Titanium Nitride
キーワード
主題Scheme Other
主題 Slip System
キーワード
主題Scheme Other
主題 Preferred Orientation
キーワード
主題Scheme Other
主題 Ion-Beam-Assisted Deposition
キーワード
主題Scheme Other
主題 Thin Film
キーワード
主題Scheme Other
主題 Coating
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Plastic deformation of TiN thin films with (111) and (200) preferred orientation was determined based on their hardness anisotropy. Hardness was measured by means of the nano-indentation technique. Plastic deformation of TiN films was caused by the indentation of the trigonal diamond tip, and evidence of this phenomenon was promvided by cross-sectional scanning electron microscopy (SEM) observation and transmission electron diffraction (TED) analysis. The influence of the differences in residual stress and grain size on hardness anisotropy was restrictive, and hardness anisotropy can be explained by the anisotropy of yield stress as calculated using Schmid's law. This relationship suggests the existence of a {100} <110> slip system in the TiN crystal. Transmission electron microscopy (TEM) observation of brittle cracks in TiN films confirmed that these cracks are caused not by cleavage fractures but by intergranular fractures.
言語 en
出版者
出版者 The Japan Society of Mechanical Engineers
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプresource http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ journal article
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
関連情報
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ URI
関連識別子 http://ci.nii.ac.jp/naid/110002974684/
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 1344-7912
書誌情報 en : JSME International Journal Series A

巻 44, 号 1, p. 94-99, 発行日 2001-01
フォーマット
値 application/pdf
著者版フラグ
値 publisher
URI
識別子 http://hdl.handle.net/2237/9037
識別子タイプ HDL
戻る
0
views
See details
Views

Versions

Ver.1 2021-03-01 12:20:56.243343
Show All versions

Share

Mendeley Twitter Facebook Print Addthis

Cite as

エクスポート

OAI-PMH
  • OAI-PMH JPCOAR 2.0
  • OAI-PMH JPCOAR 1.0
  • OAI-PMH DublinCore
  • OAI-PMH DDI
Other Formats
  • JSON
  • BIBTEX

Confirm


Powered by WEKO3


Powered by WEKO3