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  1. H200 未来材料・システム研究所
  2. H200a 雑誌掲載論文
  3. 学術雑誌

Diffractive imaging of the dumbbell structure in silicon by spherical-aberration-corrected electron diffraction

http://hdl.handle.net/2237/11975
http://hdl.handle.net/2237/11975
e3fd707d-d9ba-4489-b576-565c250f365b
名前 / ファイル ライセンス アクション
ApplPhysLett_93_183103.pdf ApplPhysLett_93_183103.pdf (281.4 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2009-07-28
タイトル
タイトル Diffractive imaging of the dumbbell structure in silicon by spherical-aberration-corrected electron diffraction
言語 en
著者 Morishita, Shigeyuki

× Morishita, Shigeyuki

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アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
権利
言語 en
権利情報 Copyright (2008) American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 The dumbbell structure in crystalline silicon as known with the separation of 0.136 nm has been reconstructed clearly by diffractive imaging using an electron beam. The spatial resolution in the result is estimated at about 0.1 nm. By utilizing the selected area diffraction technique in a spherical-aberration-corrected transmission electron microscope, one can reconstruct nanostructures with atomic resolution, even if they are not surrounded by empty space such as localized structures embedded in thin film samples. This means that the present method has a unique potential to expand the versatility of diffractive imaging by electron beams drastically.
言語 en
出版者
出版者 American Institite of Physics
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプresource http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ journal article
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
DOI
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1063/1.3003582
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 0003-6951
書誌情報 en : APPLIED PHYSICS LETTERS

巻 93, p. 183103-183103, 発行日 2008-11-03
フォーマット
値 application/pdf
著者版フラグ
値 publisher
URI
識別子 http://dx.doi.org/10.1063/1.3003582
識別子タイプ DOI
URI
識別子 http://hdl.handle.net/2237/11975
識別子タイプ HDL
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Ver.1 2021-03-01 19:35:28.869553
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