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結晶異方性エッチング解析システムMICROCADの開発(<小特集>マイクロマシン関連技術)
http://hdl.handle.net/2237/12659
http://hdl.handle.net/2237/12659c2bb238d-fca8-4a8f-ac2b-ac8a8f7fd696
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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![]() |
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Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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公開日 | 2010-02-09 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 結晶異方性エッチング解析システムMICROCADの開発(<小特集>マイクロマシン関連技術) | |||||
言語 | ja | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Development of an Orientation-Dependent Anisotropic Etching Simulation System MICROCAD | |||||
言語 | en | |||||
著者 |
佐藤, 一雄
× 佐藤, 一雄× 浅海, 和雄× 小林, 元× 入江, 康郎× 式田, 光宏 |
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アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
権利 | ||||||
言語 | en | |||||
権利情報 | Copyright 1999 IEICE | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 結晶異方性エッチング | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | エッチング速度 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | データベース | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | シミュレーション | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | CAD | |||||
抄録 | ||||||
内容記述 | 複雑な3 次元構造をもつマイクロマシンデバイスの加工プロセス設計を支援するツールとして,結晶異方性エッチング解析システムMICROCAD を開発した.このシステムは,被加工材であるシリコン単結晶の全方位のエッチング速度をデータベースとして備えることにより,任意の結晶方位をもつウェーハ,任意のマスクパターンに対して,3 次元エッチングプロフィルの時間的変化を解析する機能をもつ.全方位に対するエッチング速度の測定方法,解析システムの構成,3 次元エッチングプロフィルの計算方法について述べた.本システムの適用例として,補償マスクパターンの設計,ウェーハを貫通してなお進行するエッチング形状の解析,多段階エッチングプロセスの工程設計の例を示し,このシステムの工程設計における有効性を論じた. | |||||
言語 | ja | |||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
出版者 | ||||||
言語 | ja | |||||
出版者 | 電子情報通信学会 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプresource | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
タイプ | journal article | |||||
出版タイプ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
関連情報 | ||||||
関連タイプ | isVersionOf | |||||
識別子タイプ | URI | |||||
関連識別子 | http://www.ieice.org/jpn/trans_online/index.html | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | PISSN | |||||
収録物識別子 | 0915-1907 | |||||
書誌情報 |
ja : 電子情報通信学会論文誌 巻 J82-C-II, 号 3, p. 84-91, 発行日 1999-03-20 |
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フォーマット | ||||||
application/pdf | ||||||
著者版フラグ | ||||||
値 | publisher | |||||
URI | ||||||
識別子 | http://hdl.handle.net/2237/12659 | |||||
識別子タイプ | HDL | |||||
URI | ||||||
識別子 | http://www.ieice.org/jpn/trans_online/index.html | |||||
識別子タイプ | URI |