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アイテム
反応性プラズマの制御
http://hdl.handle.net/2237/12677
http://hdl.handle.net/2237/12677ef37d457-905e-4434-acce-96d94f68b487
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kaken_02214105.pdf (1.3 MB)
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| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2010-02-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 反応性プラズマの制御 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 著者 |
後藤, 俊夫
× 後藤, 俊夫× 河野, 明宏× 岸本, 茂× 平松, 美根男× 廣田, 榮治× 山田, 千樫 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 科学研究費補助金 研究種目：重点領域研究032 課題番号：1990年度・63632006, 1991年度・01632006, 1992年度・02214105 研究代表者：後藤俊夫 研究期間：1990年～1992年度（当データは1992年度,報告番号02214105のもの） | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| 書誌情報 |
発行日 1992 |
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| フォーマット | ||||||
| 値 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
| シリーズ | ||||||
| 関連名称 | 科学研究費補助金;重点領域研究032;02214105 | |||||
| URI | ||||||
| 識別子 | http://hdl.handle.net/2237/12677 | |||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||
