WEKO3
アイテム
走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究
http://hdl.handle.net/2237/16334
http://hdl.handle.net/2237/16334754e95d3-ae8f-495e-a0f6-79390eb01ba4
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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k4710.pdf (12.3 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-05-07 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Study on Formation and Degradation of Ultra-Thin SiO2 Films Using Scanning Tunneling Microscopy | |||||
| 言語 | en | |||||
| 著者 |
大毛利, 健治
× 大毛利, 健治 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成12年3月27日 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| 書誌情報 |
発行日 2000-03-27 |
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| 学位名 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 13901 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 値 | 1999 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2000-03-27 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第4710号 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
| URI | ||||||
| 識別子 | http://hdl.handle.net/2237/16334 | |||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||
