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加工シリコン基板上半極性・無極性面窒化物半導体の選択MOVPE成長に関する研究
http://hdl.handle.net/2237/16472
http://hdl.handle.net/2237/164726ebc9feb-5437-491a-84cb-8a491234c1ae
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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k9600.pdf (7.9 MB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2012-05-25 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 加工シリコン基板上半極性・無極性面窒化物半導体の選択MOVPE成長に関する研究 | |||||
言語 | ja | |||||
著者 |
谷川, 智之
× 谷川, 智之 |
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アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成24年3月26日 | |||||
言語 | ja | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||
書誌情報 |
発行日 2012-03-26 |
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学位名 | ||||||
言語 | ja | |||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 13901 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
学位授与年度 | ||||||
値 | 2011 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2012-03-26 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第9600号 | |||||
著者版フラグ | ||||||
値 | publisher | |||||
URI | ||||||
識別子 | http://hdl.handle.net/2237/16472 | |||||
識別子タイプ | HDL |