WEKO3
アイテム
先端LSI製造プロセスにおけるO2, CO2, およびCOプラズマを利用したドライエッチングに関する研究
http://hdl.handle.net/2237/0002000416
http://hdl.handle.net/2237/0002000416908866ad-c206-4c3d-8c45-3be7b28b0611
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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k13605_abstract.pdf (2.4 MB)
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k13605_review.pdf (127 KB)
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k13605_thesis.pdf (6.7 MB)
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| Item type | itemtype_ver1(1) | |||||||
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| 公開日 | 2021-08-25 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 先端LSI製造プロセスにおけるO2, CO2, およびCOプラズマを利用したドライエッチングに関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| その他のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Study on dry etching using O2, CO2, and CO plasma for advanced LSI fabrication process | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 著者 |
今村, 翼
× 今村, 翼
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| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプresource | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| タイプ | doctoral thesis | |||||||
| 書誌情報 |
発行日 2021-03-25 |
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| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 13901 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 学位授与機関名 | NAGOYA University | |||||||
| 学位授与年度 | ||||||||
| 学位授与年度 | 2020 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2021-03-25 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第13605号 | |||||||
