WEKO3
アイテム
Control of Properties of Amorphous Carbon Thin Films by Internal Parameters of a Low-Temperature Plasma
http://hdl.handle.net/2237/00029940
http://hdl.handle.net/2237/00029940b7958e67-d3b1-467d-afb7-14966aa3a6cf
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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k12765_abstract (329.8 kB)
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k12765_review (122.7 kB)
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k12765_thesis (3.2 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-04-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Control of Properties of Amorphous Carbon Thin Films by Internal Parameters of a Low-Temperature Plasma | |||||
| 言語 | en | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | 低温プラズマの内部パラメータによるアモルファスカーボン薄膜の物性制御 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 著者 |
SUGIURA, Hirotsugu
× SUGIURA, Hirotsugu× 杉浦, 啓嗣 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| 書誌情報 |
発行日 2019-03-25 |
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| 学位名 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 13901 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 値 | 2018 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2019-03-25 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第12765号 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | ETD | |||||
