WEKO3
アイテム
Formation of functional SiO:CH thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition
http://hdl.handle.net/2237/9689
http://hdl.handle.net/2237/96892f81b407-6aa0-4079-926d-29e89f9057b0
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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all.pdf (21.0 MB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2008-04-17 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | Formation of functional SiO:CH thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition | |||||
言語 | en | |||||
著者 |
尹, 龍燮
× 尹, 龍燮× Yun, yongsup |
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アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述 | 名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学)(課程) 学位授与年月日:平成19年12月28日 | |||||
言語 | ja | |||||
内容記述タイプ | Other | |||||
言語 | ||||||
言語 | eng | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
タイプ | doctoral thesis | |||||
書誌情報 |
発行日 2007-12-28 |
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学位名 | ||||||
言語 | ja | |||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 13901 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
学位授与年度 | ||||||
学位授与年度 | 2007 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2007-12-28 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第7698号 | |||||
フォーマット | ||||||
application/pdf | ||||||
著者版フラグ | ||||||
値 | publisher | |||||
URI | ||||||
識別子 | http://hdl.handle.net/2237/9689 | |||||
識別子タイプ | HDL |