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シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究
http://hdl.handle.net/2237/11524
http://hdl.handle.net/2237/11524aca214e5-3e60-496f-8a6c-30e06e0f7eef
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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ot5178.pdf (17.7 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-04-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 著者 |
小林, 清輝
× 小林, 清輝 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成9年3月12日 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| 書誌情報 |
発行日 1997-03-12 |
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| 学位名 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 13901 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 値 | 1996 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 1997-03-12 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 乙第5178号 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 値 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
| URI | ||||||
| 識別子 | http://hdl.handle.net/2237/11524 | |||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||
