| Item type |
itemtype_ver1(1) |
| 公開日 |
2022-02-08 |
| タイトル |
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タイトル |
High-speed deposition of graphite-like carbon film by Ar/C6H6 surface-wave plasma with high-voltage pulse biasing |
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言語 |
en |
| 著者 |
Bae, Hansin
Sasai, Kensuke
Suzuki, Haruka
Toyoda, Hirotaka
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| アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 権利 |
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言語 |
en |
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権利情報 |
© 2021. This manuscript version is made available under the CC-BY-NC-ND 4.0 license http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
PECVD |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Carbon |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Conductive carbon film |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Microwave plasma |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Graphite-like carbon |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
A method for graphite-like carbon (GLC) deposition using Ar/C6H6 surface-wave plasma (SWP) is proposed. Characteristic of the SWP, i.e., high plasma density with wide spatial uniformity realized uniform carbon film deposition at high deposition rates. To increase sp^2 ratio in carbon films, a pulsed negative bias voltage up to ~2 kV is applied to a substrate. Conductive carbon films of low sheet resistances below ~10^2 Ω/sq is achieved at high deposition rates up to ~6 nm/s with good spatial uniformity (5%) in an area of ~183 cm^2. Film structure is evaluated by Raman spectroscopy, Fourier-transform infra-red spectroscopy, X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, scanning transmission electron microscopy and electron energy loss spectroscopy. At high negative bias voltages, sp^2-rich with reduced hydrogen content of the film is observed. |
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言語 |
en |
| 出版者 |
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出版者 |
Elsevier |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
AM |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa |
| 関連情報 |
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関連タイプ |
isVersionOf |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110429 |
| 収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
0042-207X |
| 書誌情報 |
en : Vacuum
巻 192,
p. 110429,
発行日 2021-10
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| ファイル公開日 |
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日付 |
2023-10-01 |
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日付タイプ |
Available |
Final_Version_bae.pdf (985 KB)
