WEKO3
アイテム
大規模集積回路プラズマプロセスにおける微細パターン形状制御の研究
http://hdl.handle.net/2237/00028727
http://hdl.handle.net/2237/0002872755389c7f-c5a9-4aaa-8643-50f8db96dcb1
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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k12498_abstract (269.4 kB)
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k12498_review (103.6 kB)
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k12498_summary (280.4 kB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2018-10-19 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 大規模集積回路プラズマプロセスにおける微細パターン形状制御の研究 | |||||
言語 | ja | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Study on control of fine patterning in ULSI plasma processes | |||||
言語 | en | |||||
著者 |
根岸, 伸幸
× 根岸, 伸幸 |
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アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
タイプ | doctoral thesis | |||||
書誌情報 |
発行日 2018-09-27 |
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学位名 | ||||||
言語 | ja | |||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 13901 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 名古屋大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | Nagoya University | |||||
学位授与年度 | ||||||
学位授与年度 | 2018 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2018-09-27 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第12498号 | |||||
著者版フラグ | ||||||
値 | none |