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  1. B200 工学部/工学研究科
  2. B200a 雑誌掲載論文
  3. 学術雑誌

Dynamics of E-H mode transition in high-pressure RF inductively coupled plasmas

http://hdl.handle.net/2237/6794
http://hdl.handle.net/2237/6794
fd1e5dd6-ed77-43e3-82bc-01f2f4786fd7
名前 / ファイル ライセンス アクション
01420438.pdf 01420438.pdf (470.4 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2006-08-03
タイトル
タイトル Dynamics of E-H mode transition in high-pressure RF inductively coupled plasmas
言語 en
著者 Razzak, M. Abdur

× Razzak, M. Abdur

WEKO 13140

en Razzak, M. Abdur

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Takamura, Shuichi

× Takamura, Shuichi

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en Takamura, Shuichi

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Uesugi, Yoshihiko

× Uesugi, Yoshihiko

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en Uesugi, Yoshihiko

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アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
権利
言語 en
権利情報 Copyright © 2005 IEEE. Reprinted from (relevant publication info). This material is posted here with permission of the IEEE. Such permission of the IEEE does not in any way imply IEEE endorsement of any of Nagoya University’s products or services. Internal or personal use of this material is permitted. However, permission to reprint/republish this material for advertising or promotional purposes or for creating new collective works for resale or redistribution must be obtained from the IEEE by writing to pubs-permissions@ieee.org.
キーワード
主題Scheme Other
主題 E-H mode transition dynamics
キーワード
主題Scheme Other
主題 high-speed imaging
キーワード
主題Scheme Other
主題 inductively coupled plasma
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Capacitive (E) to inductive (H) mode transition dynamics in radio frequency (RF) argon inductively coupled plasmas (ICPs) with up to atmospheric pressure is studied experimentally. High-speed imaging (13500 fps) is performed to investigate the transition dynamics, and to estimate the characteristic time scale of E-H mode transition. The effect of diatomic gas inclusion (here N2) on the E-H mode transition dynamics is also discussed.
言語 en
出版者
出版者 IEEE
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプresource http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ journal article
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
DOI
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1109/TPS.2005.845019
書誌情報 en : IEEE Transactions on Plasma Science

巻 33, 号 2, p. 284-285, 発行日 2005-04
フォーマット
値 application/pdf
著者版フラグ
値 publisher
URI
識別子 http://hdl.handle.net/2237/6794
識別子タイプ HDL
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